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高純氦氣根據(jù)GB/T 4844-2011具體指標(biāo)
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高純氦氣根據(jù)GB/T 4844-2011具體指標(biāo)如下：
氦氣（He）純度(體積分?jǐn)?shù))/10^-2 ≥99.999
氖氣（Ne）含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6 <4
氫氣（H2）含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6 <1
（氧氣（O2）+氬（Ar）)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6 <1
氮?dú)猓∟2）含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6 <2
一氧化碳（CO）含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6 <0.5
二氧化碳（CO2）含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6 <0.5
甲烷（CH4）含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6 <0.5
水分（H2O）含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6 <3
總雜質(zhì)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6 <10。文章來源高純氦氣http://www.bjt114.cn/。
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